专利
专利名称：全淹没射流抛光装置及方法
专利号：CN201010586835.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-02-03
专利名称：扇形离轴非球面拼接测量系统
专利号：CN200810113461.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2008-05-28
专利名称：一种大口径抛物面镜检测系统
专利号：CN200810113460.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2008-05-28
专利名称：一种大口径非球面镜检测系统
专利号：CN200810104089.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2008-04-15
专利名称：一种非球面离子束成型装置
专利号：CN201611204205.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2016-12-23
专利名称：一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头
专利号：CN2015100005369.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-01-06
专利名称：一种光学变形镜系统
专利号：CN201510059382.x
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-02-05
专利名称：一种离子束抛光设备中的工件夹
专利号：CN201510002041.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-01-04
专利名称：一种曲面光学元件的离子束光滑
专利号：CN201510002043.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-01-04
专利名称：一种高精度压力驱动装置
专利号：CN201510001927.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-01-04
专利名称：一种凸锥在线检测加工装置及方法
专利号：CN201510351236.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-03-19
专利名称：一种大视场高数值孔径全球面光刻机投影物镜
专利号：CN201510382003.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-07-02
专利名称：一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法
专利号：CN201510189200.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-04-21
专利名称：一种大数值孔径浸没式投影物镜
专利号：CN201410330973.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-07-05
专利名称：一种含有两个反射镜的大数值孔径投影光学系统
专利号：CN201410669843.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-11-17