专利
专利名称：一种投影物镜波像差检测装置及方法
专利号：CN201410454177.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-09-05
专利名称：一种光学系统像差补偿装置和方法
专利号：CN201410473404.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-09-16
专利名称：一种光学系统气压分段补偿波长像差的划分方法
专利号：CN201410499948.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-09-16
专利名称：一种大数值孔径的投影物镜光学系统
专利号：CN201410279489.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-08-04
专利名称：一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置和方法
专利号：CN201410264644.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-06-14
专利名称：一种大数值孔径的折反射的浸没投影物镜
专利号：CN201410283831.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-06-23
专利名称：一种大数值孔径的纯折射式的干式的投影光学系统
专利号：CN201410250109.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-06-06
专利名称：一种光学凸球面面形的检测装置及方法
专利号：CN201410199400.x
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-05-12
专利名称：一种紫外波段的高像质投影光学系统
专利号：CN201410004957.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-01-06
专利名称：一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法
专利号：CN201410103275.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-03-19
专利名称：一种检测平板光学元件面形误差的装置及方法
专利号：CN201410103178.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-03-19
专利名称：一种大数值孔径折反射的干式投影光学系统
专利号：CN201410024170.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-01-17
专利名称：一种非球面紫外光刻物镜
专利号：CN201310566185.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-11-14
专利名称：一种离子束抛光设备中工件夹具定位装置
专利号：CN201310586059.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-11-19
专利名称：一种投影物镜数值孔径测量方法
专利号：CN201310390028.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-09-01