专利
专利名称：一种光瞳均匀性补偿装置
专利号：CN201110327838.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-10-25
专利名称：一种复眼透镜
专利号：CN201110294847.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-09-30
专利名称：一种整形器件
专利号：CN201110134130.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-05-23
专利名称：一种用于光刻设备中的光束稳定装置
专利号：CN201010582736.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-12-06
专利名称：PCT/CN2012/085064“同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法和系统”
专利号：1411233.8
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-25
专利名称：PCT/CN2012/085064“同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法和系统”
专利号：112012005157.2
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-04
专利名称：PCT/CN2012/085064“同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法和系统”
专利号：14/363,725
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-07-21
专利名称：PCT/CN2012/085069一种磁悬浮分子泵动平衡方法（5）
专利号：1411234.6
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-25
专利名称：PCT/CN2012/085069一种磁悬浮分子泵动平衡方法（5）
专利号：112012005063.0
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-04
专利名称：PCT/CN2012/085069一种磁悬浮分子泵动平衡方法（5）
专利号：14/362,815
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-05
专利名称：PCT/CN2012/085077一种磁悬浮分子泵动平衡方法（4）
专利号：1411235.3
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-25
专利名称：PCT/CN2012/085077一种磁悬浮分子泵动平衡方法（4）
专利号：112012005062.2
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-04
专利名称：PCT/CN2012/085077一种磁悬浮分子泵动平衡方法（4）
专利号：14/362,806
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2014-06-05
专利名称：一种磁悬浮分子泵径向保护轴承检测方法
专利号：201310066271.2
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2013-03-01
专利名称：一种磁悬浮分子泵径向保护轴承检测装置及方法
专利号：201310066235.6
专利权人：北京中科科仪股份有限公司、清华大学
时间：2013-03-01
