专利
专利名称：一种基于聚二甲基硅氧烷模板的微透镜阵列元件的制作方法
专利号：CN201310290048.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-07-11
专利名称：一种杂散光测量系统和测量方法
专利号：CN201310081105.Ｘ
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-03-14
专利名称：一种投影光刻机中的光束稳定装置
专利号：CN201010256374.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2010-08-17
专利名称：一种光刻机中照明系统各个光学组件透过率的测量装置及测量方法
专利号：CN201310013193.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-01-14
专利名称：一种光学可变衰减器透过率测量系统和测量方法
专利号：CN201210499926.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-11-29
专利名称：一种具有相位调制功能的光刻照明装置
专利号：CN201210384530.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-10-11
专利名称：一种基于CGH实现小孔中心定位的装置及方法
专利号：CN201210372432.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-09-28
专利名称：一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件
专利号：CN201210370901.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-09-28
专利名称：一种光刻照明系统的相干因子调整系统
专利号：CN201210264944.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-07-27
专利名称：一种照明均匀性补偿装置
专利号：CN201210187778.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-06-08
专利名称：一种偏振和双折射测量系统
专利号：CN201210088188.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-03-29
专利名称：一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法
专利号：CN201210027093.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-02-07
专利名称：一种光束传输装置
专利号：CN201210030456.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-02-13
专利名称：一种基于负性光刻胶和掩模移动曝光工艺的微透镜阵列制备方法
专利号：CN201210026665.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-02-07
专利名称：一种稳定脉冲激光束随机漂移的方法
专利号：CN201110338389.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-11-01
