专利
专利名称：一种电晕预电离装置
专利号：201210525708.X
专利权人：华中科技大学
时间：2012-12-07
专利名称：一种准分子激光器环形腔调节装置和方法
专利号：201210513378.2
专利名称：一种准分子激光再生式放大器
专利号：201210513358.5
专利权人：华中科技大学
时间：2012-12-03
专利名称：一种用于高压磁开关复位的恒流源
专利号：201210494571.6
专利权人：华中科技大学
时间：2012-11-28
专利名称：一种准分子激光器脉冲电源
专利号：201210493440.6
专利权人：华中科技大学
时间：2012-11-28
专利名称：基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置
专利号：201210423106.3
专利权人：华中科技大学
时间：2012-10-30
专利名称：一种测量重频激光器腔内循环气体流动速度的方法
专利号：201110160097.9
专利权人：华中科技大学
时间：2011-06-14
专利名称：一种达克罗烧结固化方法
专利号：20111012000.1
专利权人：华中科技大学
时间：2011-05-10
专利名称：深紫外氟化物薄膜元件污染物吸附能力的分析方法
专利号：201210532854.50
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-11
专利名称：低损耗深紫外多层膜的制备方法
专利号：201210532888.40
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-11
专利名称：大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置
专利号：201210532911.X
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-11
专利名称：193nmP光大角度减反射薄膜元件的制备方法
专利号：201210488002.00
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-11-26
专利名称：一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置
专利号：201210520608.80
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-06
专利名称：一种深紫外光学薄膜基底的处理方法
专利号：201210520610.50
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-06
专利名称：一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法
专利号：201210520711.20
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-12-06