专利

专利名称：环境稳定性深紫外光学薄膜及其制备方法
专利号：201210142793.10
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2012-05-10
专利名称：一种深紫外光学薄膜处理装置
专利号：201110346866.40
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-11-07
专利名称：紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪
专利号：201110346722.90
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-11-07
专利名称：辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
专利号：201110346860.70
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-11-07
专利名称：ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法
专利号：201110272811.30
专利权人：中科院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2011-09-15
专利名称：MOPA 系统准分子激光同步控制中的信号获取方法
专利号：201210578509.50
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：一种放电激励的准分子激光系统电磁辐射在线监测方法
专利号：201210585537.X
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统
专利号：201210585457.40
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：光刻用准分子激光器计量稳定控制方法
专利号：201210578750.80
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：IGBT 的驱动电路
专利号：201210578727.90
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：一种激光电源
专利号：201210578703.30
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：准分子激光器谐振式充电电源的高精度电压控制方法
专利号：201210562686.40
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：一种高重复频率磁脉冲压缩网络的磁芯精确复位系统
专利号：201210472342.40
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：两路反馈信号相对时差的精确测量系统
专利号：201210361754.00
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
专利名称：一种结构紧凑型KHZ 准分子激光器全固态脉冲激励源
专利号：201210229966.30
专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
时间：1905-07-04
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