专利
专利名称：铜互联线大马士革技术中减少铜凹陷的方法
专利号：201110170846.6
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2009-08-04
专利名称：浸没式水槽、清洗装置和硅片清洗方法
专利号：201010618732.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2011-03-15
专利名称：半导体器件清洗装置及方法
专利号：201010229354.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：一种消除金属间隙填充物中空洞的方法
专利号：200910056553.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：提高湿法刻蚀性能的方法
专利号：200910055897.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2010-07-16
专利名称：用于集成电路硅片的电镀槽及其电镀方法
专利号：200910052965.4
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2009-08-18
专利名称：半导体硅片的清洗设备及清洗方法
专利号：200910049049.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2009-08-04
专利名称：半导体存储单元、器件及其制备方法
专利号：201010541159.6
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-11-10
专利名称：多功能离子束溅射沉积与刻蚀设备
专利号：200910083508.1
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2009-05-06
专利名称：多功能离子束溅射设备
专利号：200910083499.6
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2009-05-06
专利名称：一种垂直型NROM存储结构及其制备方法
专利号：201010573812.7
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2010-11-30
专利名称：分裂栅存储器及其制造方法
专利号：201110147095.6
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-06-01
专利名称：一种半导体存储器件的复位方法
专利号：201110028102.0
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-01-26
专利名称：快闪存储器限流装置及应用该装置的快闪存储器
专利号：201110343739.9
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-11-03
专利名称：一种非挥发性存储器件的编程方法
专利号：201110022638.1
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-01-20