专利

专利名称：一种应用于晶圆顶针长度检验的工装
专利号：201510712397.1
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-28
专利名称：波纹管测漏工装
专利号：201510712929.1
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-28
专利名称：一种腔体进气流速调节装置
专利号：201510712212.7
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种半导体设备中软质金属螺钉操作保护工装及使用方法
专利号：201510707822.8
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种气相沉积设备反应气体集中控制系统的运输装置
专利号：201510712578.4
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种应用于薄膜沉积设备中的动密封顶升结构
专利号：201510707452.8
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法
专利号：201510706176.3
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种手持式自动校线设备
专利号：201510706135.4
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种固定与抽气相互独立的管道结构
专利号：201510707361.4
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种多气体多区域的喷淋结构
专利号：201510711882.7
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种负载模块开盖结构
专利号：201510711904.X
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种用于PECVD设备中加热盘的测温工装
专利号：201510708924.1
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种加热掺杂气体的喷淋结构
专利号：201510706405.1
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种方便快捷宝石球分拣工装
专利号：201510705574.3
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-26
专利名称：一种半导体镀膜设备真空腔用管路截断方法
专利号：201510700960.3
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-26
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