专利
专利名称：一种利用前端模块为晶圆加热的装置及方法
专利号：PCT/CN2015/076745
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-04-16
专利名称：一种通过真空装载腔为晶圆预热的装置及方法
专利号：PCT/CN2015/076737
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-04-16
专利名称：双层传片腔体
专利号：PCT/CN2015/075244
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-03-27
专利名称：等离子发生器混气管路
专利号：PCT/CN2015/075245
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-03-27
专利名称：加热盘阻抗测量工装及测量方法
专利号：201510736030.3
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-11-03
专利名称：一种应用于半导体设备的角度限位饺链
专利号：201510736653.0
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-11-02
专利名称：一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法
专利号：201510732918.X
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-30
专利名称：一种侧抽气孔式空腔控温盘
专利号：201510724579.0
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种半导体设备中盘面直径尺寸可调的加热基底
专利号：201510728053.X
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构
专利号：201510725508.2
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：循环媒介自动控温、热传导气体传导温度的晶圆反应台
专利号：201510717077.5
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种冷热腔可控温加热支撑架
专利号：201510719417.8
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种稳流室空腔可控温基体托架结构
专利号：201510719319.4
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种稳流室控温盘
专利号：201510718211.3
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-29
专利名称：一种内置多条抽气通道的晶圆薄膜沉积反应台
专利号：201510719018.1
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-28