专利
专利名称：一种浸没式光刻机的液体控制装置
专利号：201310671750.7
专利名称：一种测试材料释气率的装置及方法
专利号：201310049859.7
专利名称：一种高精度通用测量装置
专利号：201210435174.1
专利名称：一种模块化温度控制装置
专利号：ZL201210041402.7
专利名称：激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统
专利号：201410828841.1
专利名称：一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
专利号：201410412760.3
专利名称：精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
专利号：201410199568.0
专利名称：一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
专利号：201310079232.6
专利名称：用于浸没式光刻的浸液温控装置
专利号：201310078820.8
专利名称：无振动棒的金属靶发生器
专利号：201210198836.8
专利名称：一种辅助声道式超声波流量计测量块
专利号：201310340437.5
专利名称：一种流场状态可控的泡状流流道振动检测装置
专利号：201320516710.0
专利名称：一种非接触式流体元器件振动检测装置
专利号：ZL201220697717.2
专利名称：一种用于浸没式光刻机的气密封和气液隔离装置
专利号：ZL201220591927.3
专利名称：一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置
专利号：ZL201220541100.1
