专利
专利名称：一种用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置
专利号：ZL201220540858.3
专利名称：一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置
专利号：ZL201220249142.8
专利名称：用于浸没式光刻浸没头机位姿调节机构的控制方法
专利号：201410393789.1
专利名称：浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法
专利号：201410361764.3
专利名称：一种基于偏心机构的三自由度精密调节装置
专利号：201410277880.7
专利名称：一种基于具有固定磁偶极矩标记磁源的线性定位方法
专利号：201410280465.7
专利名称：一种用于浸没式光刻机的气密封和两级多孔气液回收装置
专利号：201410285425.1
专利名称：用于浸没式光刻机中的负压环境下的连续气液分离装置
专利号：201410246163.8
专利名称：用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置
专利号：201410172815.8
专利名称：一种平行板间液桥快速分离的精确观测装置
专利号：201410082357.9
专利名称：浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法
专利号：201410110134.9
专利名称：一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置
专利号：201310416186.4
专利名称：流场状态可控的泡状流流道振动检测装置
专利号：201310371045.5
专利名称：一种应用于浸没式光刻机中浸没液体传送系统的通讯方法
专利号：201310290647.8
专利名称：浸没式光刻机浸液液体传送系统中的控制系统的控制方法
专利号：201310186950.3
