专利
专利名称：工件台线缆装置
专利号：TW102148649
专利名称：光刻曝光系统
专利号：201310671767.2
专利名称：利用掩模对准系统进行工件台基准板旋转探测的方法
专利号：201310634236.6
专利名称：一种薄膜检测装置和方法
专利号：201310618148.7
专利名称：冷却水分集流装置及其制备方法
专利号：201310513304.3
专利名称：一种旋转交换手自适应保护装置及其保护方法
专利号：201310429043.7
专利名称：调焦调平光斑水平位置的测量方法
专利号：201310429103.5
专利名称：一种浸没式光刻机及其流场维持方法
专利号：201310245140.0
专利名称：浸没式光刻机浸没流场维持装置及方法
专利号：201310245125.6
专利名称：一种硅片对准方法
专利号：201310010178.x
专利名称：一种工件台线缆装置
专利号：201210587444.0
专利名称：一种电机位置干扰力校准方法
专利号：201210582462.x
专利名称：一种用于隔振的柔性装置及使用该装置的光刻设备
专利号：201210529669.0
专利名称：一种旋转电机装置
专利号：201210408236.x
专利名称：一种光刻机传感器校准方法
专利号：201210409067.1
