专利
专利名称：一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法
专利号：201410070238.1
专利名称：一种用于光刻机的浸液维持、更新装置
专利号：201410070265.9
专利名称：冷却装置及应用该冷却装置的光刻机
专利号：201410043850.x
专利名称：一种测校长程电机导轨非正交性方法
专利号：201410043858.6
专利名称：六自由度微动装置
专利号：201410025032.7
专利名称：一种用于浸没式光刻机的流体限制机构
专利号：201410024987.0
专利名称：一种光刻机机械式快门叶片结构
专利号：201410011585.7
专利名称：磁钢阵列以及磁浮平面电机
专利号：201310752308.7
专利名称：磁浮平面电机
专利号：201310752310.4
专利名称：掩模板面型整形装置
专利号：201310752194.6
专利名称：一种调焦调平装置
专利号：201310747393.8
专利名称：物镜支撑装置及光刻机
专利号：201310752319.5
专利名称：有源消声装置及光刻设备
专利号：201310752318.0
专利名称：用于光刻设备降噪的共鸣器
专利号：201310742847.2
专利名称：一种光刻机运动台支撑平台
专利号：201310742835.x
