专利

专利名称：硅片对准信号的处理方法
专利号：ZL201210155572.8
专利权人：
时间：2013-04-25
专利名称：一种硅片直线交换装置及方法
专利号：ZL201210153116.x
专利权人：
时间：2013-04-24
专利名称：一种调焦调平装置
专利号：ZL201210143844.2
专利权人：
时间：2013-04-23
专利名称：一种投影物镜
专利号：201210143845.7
专利权人：
时间：2013-04-22
专利名称：一种非对称像差补偿装置
专利号：ZL201210117915.1
专利权人：
时间：2013-04-21
专利名称：基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装及方法
专利号：ZL201210119319.7
专利权人：
时间：2013-04-20
专利名称：辅助支撑装置及其辅助支撑方法
专利号：201210118764.1
专利权人：
时间：2013-04-19
专利名称：一种对准过程中光强采样点筛选修正的方法
专利号：ZL201210103993.6
专利权人：
时间：2013-04-18
专利名称：基于重力补偿器的控制方法
专利号：ZL201210104004.5
专利权人：
时间：2013-04-17
专利名称：一种对准系统光阑板的调整机构
专利号：ZL201210099944.x
专利权人：
时间：2013-04-16
专利名称：一种调焦调平信号处理方法
专利号：ZL201210091294.4
专利权人：
时间：2013-04-15
专利名称：一种浸没式光刻机浸液流场维持防碰撞系统
专利号：201510040998.2
专利权人：
时间：2013-04-14
专利名称：一种多面体主基板及其制造方法和加工方法
专利号：ZL201210078765.8
专利权人：
时间：2013-04-13
专利名称：一种角分辨散射测量装置及其测量方法
专利号：201210062966.9
专利权人：
时间：2013-04-12
专利名称：可动镜片调整装置及应用其的可调式光学系统
专利号：201210062631.7
专利权人：
时间：2013-04-11
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