专利
专利名称：用于椭球反射镜的冷却系统及应用其的高功率光源灯室
专利号：201210055989.7
专利名称：工件台位置误差测量及预先补偿的方法
专利号：ZL201210046743.3
专利名称：用于光刻设备的离轴对准系统及对准方法
专利号：ZL201210042665.x
专利名称：磁铁块固定装置及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法
专利号：ZL201210041115.6
专利名称：一种板材落料和排版的方法及装置
专利号：201210041163.5
专利名称：一种采用霍尔阵列的磁浮平面电机初始化位置检测方法
专利号：201210035750.3
专利名称：光学平板定位机构
专利号：201210024609.3
专利名称：一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台
专利号：201210024607.4
专利名称：一种浸没式光刻机浸液流场维持装置
专利号：201410828080.x
专利名称：用于直线或平面电机磁阵列的装配装置及其安装方法
专利号：201410151851.6
专利名称：磁浮平面电机
专利号：201410073754.x
专利名称：一种提高光刻机工件台定位精度的方法
专利号：201210425938.9
专利名称：环形激光器放大系统
专利号：ZL201320320833.7
专利名称：MOPA激光器放大系统
专利号：ZL201320331373.8
专利名称：一种采用MOPA结构的气体激光器放大系统
专利号：201310228520.3
