专利

专利名称：一种硅片台曝光区域六自由度位移测量方法
专利号：201510197948.5
专利权人：清华大学
时间：2014-06-30
专利名称：一种磁悬浮动量球
专利号：201510197943.2
专利权人：清华大学
时间：2014-06-10
专利名称：一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法
专利号：201510056214.5
专利权人：清华大学
时间：2014-06-10
专利名称：一种基于广播通讯的多通道线圈电流切换装置
专利号：201310750397.1
专利权人：清华大学
时间：2014-06-09
专利名称：一种基于平面光栅的硅片台大行程运动测量系统
专利号：201410306846.8 
专利权人：清华大学
时间：2014-04-30
专利名称：一种电磁弹射启动式掩模台系统
专利号：201410306905.1 
专利权人：清华大学
时间：2014-01-23
专利名称：一种二维自标定标记点检测对准系统
专利号：201410255840.2 
专利权人：清华大学
时间：2014-01-23
专利名称：一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法
专利号：201410256318.6 
专利权人：清华大学
时间：2014-01-23
专利名称：一种电机冷却散热结构
专利号：201410253931.2 
专利权人：清华大学
时间：2014-01-23
专利名称：一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201410031251.6
专利权人：清华大学
时间：2013-12-31
专利名称：一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201410031123.1
专利权人：清华大学
时间：2013-12-31
专利名称：基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201410031283.6
专利权人：清华大学
时间：2013-12-31
专利名称：基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201410031125.0
专利权人：清华大学
时间：2013-11-25
专利名称：一种多通道线圈电流切换的装置
专利号：201310750666.4
专利权人：清华大学
时间：2013-11-25
专利名称：一种控制平面电机线圈电流快速切换的装置
专利号：201310750361.3
专利权人：清华大学
时间：2013-11-21
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