专利

专利名称：一种直线电机初始相位确定方法
专利号：201310594864.6
专利权人：清华大学
时间：2013-06-28
专利名称：一种光栅外差干涉自准直测量装置
专利号：201310595336.2
专利权人：清华大学
时间：2013-06-28
专利名称：一种对称式光栅外差干涉二次衍射测量装置
专利号：201310596451.1
专利权人：清华大学
时间：2013-06-19
专利名称：一种粗精动叠层工作台
专利号：201310153408.8
专利权人：清华大学
时间：2013-04-27
专利名称：一种无接触式粗精动叠层六自由度定位装置
专利号：201210180346.5
专利权人：清华大学
时间：2013-04-27
专利名称：一种电子开关设备
专利号：201310269030.8
专利权人：清华大学
时间：2013-02-06
专利名称：一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统
专利号：201310048778.5
专利权人：清华大学
时间：2013-02-06
专利名称：带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统
专利号：201310048743.1
专利权人：清华大学
时间：2012-12-12
专利名称：一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201310243132.2
专利权人：清华大学
时间：2012-12-12
专利名称：一种掩模台工作台
专利号：201210371884.2
专利权人：清华大学
时间：2012-11-09
专利名称：一种六自由度微动工作台
专利号：201210324261.X
专利权人：清华大学
时间：2012-09-28
专利名称：一种六自由度磁悬浮工件台
专利号：201210535413.0
专利权人：清华大学
时间：2012-09-04
专利名称：一种外差光栅干涉仪位移测量系统
专利号：201210449244.9
专利权人：清华大学
时间：2012-06-01
专利名称：Near-null compensator and figure metrology apparatus for measuring aspheric surfaces by subaperture stitching and measuring method thereof
专利号：US 9115977B2
专利权人：国防科技大学
时间：2013-04-12
专利名称：一种复合随机振动的小口径抛光装置
专利号：201510661467.5
专利权人：国防科技大学
时间：2015-10-14
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