专利
专利名称：数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法
专利号：PCT/CN2015/080420
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-05-29
专利名称：光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
专利号：PCT/CN2015/088310
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-08-27
专利名称：光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法
专利号：14/984,577
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-12-30
专利名称：点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
专利号：14/986,560
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-12-31
专利名称：点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
专利号：14/986,593
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-12-31
专利名称：点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法
专利号：201710155972.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2017-03-16
专利名称：光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法
专利号：201710155971.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2017-03-16
专利名称：采用多探测器的光场光强分布测量方法
专利号：201710142748.9
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2017-03-10
专利名称：点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
专利号：201510982725.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-12-24
专利名称：点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
专利号：201510982270.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-12-24
专利名称：基于非下采样轮廓波变换的光学条纹图抑噪方法
专利号：201510862296.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-11-30
专利名称：光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法
专利号：201510777170.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-11-12
专利名称：基于快速建模的大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法
专利号：201510757683.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-11-09
专利名称：光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法
专利号：201510757427.0
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-11-09
专利名称：波前传感器及波前测量方法
专利号：201510398987.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-07-09
