专利

专利名称：数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法
专利号：201510256096.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-05-19
专利名称：光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
专利号：201510237227.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-05-12
专利名称：数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法
专利号：201510216017.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-04-30
专利名称：一种大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法
专利号：201510166998.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-04-09
专利名称：波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法
专利号：201410582052.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-10-27
专利名称：光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法
专利号：201410406641.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-08-18
专利名称：筒长无限的显微物镜光学系统
专利号：201410067677.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-02-26
专利名称：光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法
专利号：201310646820.3
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-12-04
专利名称：紧凑型光刻投影物镜
专利号：201310565988.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-11-14
专利名称：大承载的二维角度调整机构
专利号：201410030120.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-01-23
专利名称：直线位移台运动平行度的非接触检测方法
专利号：201310565740.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-11-14
专利名称：光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法
专利号：201310261140.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-26
专利名称：光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法
专利号：201310140728.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-04-22
专利名称：基于位相环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法
专利号：201310139424.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-04-19
专利名称：基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
专利号：201210356681.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-09-21
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