专利
专利名称：基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法
专利号：201210303465.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-08-23
专利名称：基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
专利号：201210253385.3
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-07-20
专利名称：基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法
专利号：201210115759.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-04-18
专利名称：复合电流调制半导体激光干涉仪
专利号：201210109794.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-04-13
专利名称：光刻机投影物镜大像差检测方法
专利号：201210105912.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-04-11
专利名称：一种凸非球面镜检测系统及方法
专利号：201511017672.4
专利名称：一种凸球面镜检测系统及方法
专利号：201511017673.9
专利名称：一种可以实现主动面形调整的多点柔性支撑装置
专利号：201510967159.5
专利名称：一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置
专利号：201510967152.3
专利名称：一种用于镜体检测的吸附夹具
专利号：201510866061.0
专利名称：一种检测平台姿态变化的方法
专利号：201510962183.X
专利名称：一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置
专利号：201510962450.3
专利名称：一种五自由度调整装置
专利号：201510962185.9
专利名称：一种光学玻璃的材料均匀性检测方法及装置
专利号：201510962393.9
专利名称：一种干涉测量中成像畸变的标定系统及标定方法
专利号：201510962490.8
