专利

专利名称：旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法
专利号：201510962258.4
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法
专利号：201510962259.9
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：一种浅度非球面的非零位补偿直接测量方法
专利号：201510827392.3
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：用于超高精度凹非球面检测的补偿器光学系统
专利号：201510960082.9
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：用于超高精度凸非球面检测的补偿器光学系统
专利号：201510962268.8
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：一种光学检测平台及光学检测方法
专利号：201510963717.0
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：一种用于弹性发射加工的工具轮
专利号：201510956315.8
专利权人：长春光机所
时间：2015-01-01
专利名称：立式大量程高精度光学平面测试装置
专利号：CN201210312545
专利权人：长春光机所
时间：2012-01-01
专利名称：球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法
专利号：CN201410016063
专利权人：长春光机所
时间：2014-01-01
专利名称：一种激光均匀面光源
专利号：CN201210487838
专利权人：长春光机所
时间：2012-01-01
专利名称：一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法
专利号：CN201210080275
专利权人：长春光机所
时间：2012-01-01
专利名称：Absolute measurement method for the surface figure error of spherical and plane optics
专利号：PCT/CN2015/000614
专利权人：长春光机所
时间：2015-06-01
专利名称：一种在线监测补偿掩模版热变形的装置和方法
专利号：201511032055.1
专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
时间：2015-12-31
专利名称：投影物镜支撑装置以及光刻机设备
专利号：201610777156.x
专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
时间：2016-08-30
专利名称：一种可折展的设备罩壳
专利号：201511025820.7
专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
时间：2015-12-30
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