专利

专利名称：极紫外光产生、收集系统及方法
专利号：201510647145.5
专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
时间：2015-10-08
专利名称：EUV光刻装置及其曝光方法
专利号：PCT/CN2014/085135
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2014-08-26
专利名称：EUV光刻装置及其曝光方法
专利号：201410189147.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2014-05-06
专利名称：用于EUV光刻设备的真空框架及密封方法
专利号：201410238163.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：一种悬浮防震设备及方法
专利号：201310738578.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-30
专利名称：一种极紫外光刻设备投影系统的环境控制装置
专利号：201310737636.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-30
专利名称：一种反射镜精密调整装置
专利号：201310413344.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-12
专利名称：一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置及方法
专利号：201310377315.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-27
专利名称：用于光刻设备的真空声噪隔离系统
专利号：201310334088.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-02
专利名称：一种反射镜球面调整装置
专利号：201320283684.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：一种波像差测量装置
专利号：201310140324.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-04-22
专利名称：一种测试材料释气率的装置及方法
专利号：201310049859.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-07
专利名称：一种多自由度精密调整机构
专利号：201310009427.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-01-11
专利名称：一种反射式物镜结构及其制造方法
专利号：201210339085.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-14
专利名称：密封对接装置
专利号：201210435175.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-23
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