专利
专利名称：一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法
专利号：201210540051.4
专利权人：北京理工大学
时间：2012-12-13
专利名称：一种用于EUV真空环境中的电子学装置
专利号：201310172932.X
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-05-10
专利名称：一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置
专利号：PCT/CN2013/070364
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-01-11
专利名称：一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置
专利号：201310003089.2
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-01-05
专利名称：一种集光系统防污染保护装置
专利号：201210505346.8
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2012-11-30
专利名称：一种EUV光源污染物收集装置
专利号：201210479101.2
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2012-11-22
专利名称：带开关电容滤波器的斩波带隙基准设备
专利号：201410101081.4
专利名称：一种高电源抑制比基准电压源
专利号：201410091879.5
专利名称：锁相环时钟数据恢复器用电荷泵装置
专利号：201410021406.8
专利名称：降低亚稳态发生式D触发器设备
专利号：201410021310.1
专利名称：多电压域电源调整型亚控振荡器的保护方法及电路
专利号：201310192227.6
专利名称：一种兼容多种DDR的输入接收电路
专利号：201310192228.0
专利名称：一种CMMB接收器上行通道中间件
专利号：PCT/CN2013/089200
专利名称：一种窄带干扰的抑制方法及装置
专利号：201310701662.7
专利名称：一种实现邻道干扰抑制的方法和装置
专利号：201310701661.2
