专利

专利名称：材料分压放气测量系统及其测量方法
专利号：201310459910.1
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-09-30
专利名称：一种螺旋气流动态气体锁
专利号：201310343253.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-08-08
专利名称：一种动态气体锁
专利号：201310320652.9
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-07-26
专利名称：一种极紫外辐照材料测试系统
专利号：201310319441.3
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-07-26
专利名称：真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
专利号：201310275992.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-07-02
专利名称：材料分压放气率测量系统及其测量方法
专利号：201310182195.1
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-05-16
专利名称：一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置
专利号：201310334223.7
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-08-02
专利名称：一种高频、高速的微米级液滴产生装置
专利号：201310182453.6
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-05-16
专利名称：一种用于激光光源的液态金属靶产生装置
专利号：201310182436.2
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-05-16
专利名称：极紫外光刻复眼匀光离轴照明系统及实现离轴照明的方法
专利号：201210458887.X
专利权人：北京理工大学
时间：2012-11-14
专利名称：一种可实现像素化光瞳的极紫外光刻自由曲面照明系统
专利号：201610053543.9
专利权人：北京理工大学
时间：2016-01-26
专利名称：一种组合放大倍率的成像物镜系统设计方法
专利号：201610178107.4
专利权人：北京理工大学
时间：2012-03-25
专利名称：一种极紫外光刻光源-掩模联合优化方法
专利号：201510354242.5
专利权人：北京理工大学
时间：2015-06-24
专利名称：一种极紫外光刻掩模优化方法
专利号：201510046751.1
专利权人：北京理工大学
时间：2015-01-29
专利名称：一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜
专利号：201410136589.8
专利权人：北京理工大学
时间：2014-04-04
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