专利
专利名称：一种生产线设备的控制方法和装置
专利号：201510204735.0
专利名称：机械卡盘及半导体加工设备
专利号：201510194425.5
专利名称：机械卡盘及半导体加工设备
专利号：201510148869.5
专利名称：加热腔室及半导体加工设备
专利号：201510109305.0
专利名称：磁控管组件及磁控溅射设备
专利号：201510108417.4
专利名称：聚焦环、下电极机构及半导体加工设备
专利号：201510106297.4
专利名称：顶针机构和除气腔室
专利号：201510045397.0
专利名称：针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置
专利号：201510004040.8
专利名称：用于处理腔室的工艺内衬和物理气相沉积设备
专利号：201410835741.1
专利名称：一种基座及等离子体加工设备
专利号：201410829100.5
专利名称：PVD腔室、半导体加工设备及PVD工艺
专利号：201410831338.1
专利名称：磁控管组件及磁控溅射设备
专利号：201410826533.5
专利名称：沉积组件及半导体加工设备
专利号：201410805258.9
专利名称：边磁铁框架及磁控溅射设备
专利号：201410795295.6
专利名称：晶片位置偏差的检测和调整方法以及半导体加工设备
专利号：201410792268.3
