专利
专利名称：反应腔室以及半导体加工设备
专利号：201510611653.8
专利名称：一种带排水孔的旋转密封装置
专利号：201510593964.6
专利名称：工艺腔室、半导体加工设备及去气和预清洗的方法
专利号：201510596023.8
专利名称：阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备
专利号：201510427518.8
专利名称：反应腔室及半导体加工设备
专利号：201510418680.3
专利名称：一种工艺方法和装置
专利号：201510379344.2
专利名称：反应腔室及半导体加工设备
专利号：201510367794.X
专利名称：晶片传输装置
专利号：201510363675.7
专利名称：一种生产线设备的控制方法和装置
专利号：201510338942.5
专利名称：顶针托架及工艺腔室
专利号：201510330005.5
专利名称：腔室及半导体加工设备
专利号：201510300669.7
专利名称：机械卡盘及半导体加工设备
专利号：201510281816.0
专利名称：静电卡盘、反应腔室及半导体加工设备
专利号：201510283132.4
专利名称：加热腔室以及半导体加工设备
专利号：201510251571.7
专利名称：反应腔室及半导体加工设备
专利号：201510246785.5
