专利
专利名称：一种能形成均匀水幕的工艺喷嘴
专利号：201310379713.9
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-08-28
专利名称：一种用于芯片显影工艺的显影喷嘴
专利号：201310379709.2
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-08-28
专利名称：一种用于工艺喷嘴的热循环保温装置及工艺喷嘴
专利号：201310379710.5
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2012-12-20
专利名称：一种显影喷嘴
专利号：201210554493.4
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2012-12-20
专利名称：集成电路设备工厂自动化通讯配置管理方法
专利号：201310240254.6
专利权人：沈阳中科博微自动化技
时间：2013-06-18
专利名称：一种工厂自动化通讯软件事件报告管理方法
专利号：201310298809.2
专利权人：沈阳中科博微自动化技
时间：2013-07-17
专利名称：一种用于集成电路工厂自动化系统的报警数据处理方法
专利号：201310298784.6
专利权人：中国科学院沈阳自动化
时间：2013-07-17
专利名称：一种基于CAN总线的胶泵控制系统及其控制方法
专利号：201310639657.8
专利权人：中国科学院沈阳自动化
时间：2013-12-04
专利名称：一种 IC 装备人机交互界面可定制数据显示方法
专利号：201310638665.0
专利权人：中国科学院沈阳自动化
时间：2013-12-04
专利名称：一种 IC 装备多数据源曲线绘制系统及其设计方法
专利号：201310272817.x
专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
时间：2013-07-02
专利名称：一种基板烘烤支承装置
专利号：201310528834.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2013-10-30
专利名称：一种半导体制造设备的自动移动装置
专利号：201210460563.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-14
专利名称：一种基板翻转对中装置
专利号：201210455202.6
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-13
专利名称：一种液体涂敷切边装置
专利号：201210445789.2
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-09
专利名称：一种液体喷洒装置
专利号：201210445677.7
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-09