专利
专利名称：光刻胶与显影液的恒温控制系统
专利号：201210424510.2
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-10-30
专利名称：保持接口单元内部清洁度装置
专利号：201210425780.5
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-10-16
专利名称：一种生产使用过程中化学品自动供给的管路系统
专利号：201210393826.X
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-10-12
专利名称：一种清除液体中气泡的结构
专利号：201210388663.6
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-13
专利名称：一种光刻胶收集杯自动清洗系统
专利号：201210454645.3
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-13
专利名称：光刻胶管路套管保温装置
专利号：201210439180.4
专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
时间：2012-11-06
专利名称：一种具有排气通道的显影喷嘴
专利号：201510462322.2
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2014-05-16
专利名称：集成结构预润湿涂胶喷嘴
专利号：201410207378.9
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2014-09-24
专利名称：易装配静压出流显影喷嘴
专利号：201410493838.9
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2014-09-09
专利名称：静压出流显影喷嘴
专利号：201410455845.X
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-12-23
专利名称：一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
专利号：201310715465.0
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-12-23
专利名称：实现均匀喷涂的低冲击组合工艺喷嘴
专利号：201310717844.3
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-12-23
专利名称：集成式出射流道结构工艺喷嘴
专利号：201310719283.0
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-10-31
专利名称：一种显影工艺喷嘴
专利号：201310525953.5
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2014-04-15
专利名称：一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴
专利号：201410148971.0
专利权人：清华大学深圳研究生院
时间：2013-08-28