专利
专利名称：分子玻璃正性光刻胶及其图案化方法
专利号：201210496999.4
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2012-11-28
专利名称：1,3,5-三（4-N,N’-二烷基苯
胺）苯类有机化合物及其合成方法
专利号：201210231157.6
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2012-07-04
专利名称：含双酚A 骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。Molecular glass photoresists based on
bisphenol A backbone and their preparation and application
专利号：PCT 申请号：PCT/CN2012/075707
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2012-05-18
专利名称：含双酚A 骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
专利号：201210156675.6
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2012-05-18
专利名称：以四苯基呋喃、四苯基吡咯、四苯基噻吩和五苯基吡啶为核的分子玻璃光刻胶
专利号：201210070713.6
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2012-03-16
专利名称：半导体处理设备支撑架
专利号：201530262273.9
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-12
专利名称：半导体处理设备
专利号：201530262119.1
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-11
专利名称：化学液存储瓶及其制造方法
专利号：PCT\CN2015\073931
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-10
专利名称：组装式设备支撑装置
专利号：201510334693.2
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-09
专利名称：流体传送装置
专利号：201510332974.4
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-08
专利名称：流体传送装置
专利号：201510335380.9
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-07
专利名称：包含防腐蚀立柱结构的半导体晶圆化学处理装置
专利号：201410797077.6
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-06
专利名称：利用含臭氧的流体处理半导体晶片表面的装置及方法
专利号：201410401635.2
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-05
专利名称：半导体基片表面钝化层的形成方法
专利号：201410401524.1
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-04
专利名称：流体承载装置
专利号：201420336968.7
专利权人：无锡华瑛微电子技术有限公司
时间：2015-02-03
