专利
专利名称：一种化学机械平坦化浆料及其应用
专利号：102118897
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-05-29
专利名称：一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液
专利号：102121464
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2013-06-18
专利名称：一种TSV阻挡层抛光液
专利号：101127889
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-03
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：101127888
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-08-03
专利名称：一种化学机械抛光液
专利号：101120381
专利权人：安集微电子（上海）有限公司
时间：2012-06-07
专利名称：一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用
专利号：201310499686.9
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2013-10-22
专利名称：星形金刚烷衍生物分子玻璃及其制备方法、应用
专利号：201210438668.5
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2012-11-06
专利名称：极紫外光刻胶曝光检测装置与方法
专利号：201210113099.7
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2012-04-16
专利名称：极紫外(EUV)光刻胶超高真空热处理检测装置与方法
专利号：201110315017.2
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2011-10-17
专利名称：Molecular glass of spirofluorene derivative, preparation method thereof and use thereof in photo-etching
专利号：US Patent Application Number: 14/762260
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2013-01-22
专利名称：基于含多羟基结构分子玻璃的底部抗反射涂料组合物及其在光刻中的应用
专利号：201510319140.X
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2015-06-11
专利名称：ビスフェノールA 骨
格構造含有の分子性ガラスフォトレジスト及びその製造方法並びに応用
专利号：
JP2014-561253
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2014-09-16
专利名称：Molecular glass photoresists containing bisphenol A framework and
method for preparing the same and use thereof
专利号：US Patent Application Number: 14385238.
专利权人：中国科学院化学研究所
时间：2014-09-15
专利名称：螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中应用。Synthesis of 9, 9’-spirobifluorene derivatives as molecular glass photoresists for photolithography
专利号：PCT/CN2013/070825
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2013-01-22
专利名称：螺芴衍生物分子玻璃及其制备方法和光刻中应用
专利号：201380000139.X
专利权人：中国科学院理化技术研究所
时间：2013-04-11
