专利
专利名称：洁净堆栈机控制系统
专利号：201310564392.X
专利名称：软启动控制系统
专利号：201310564393.4
专利名称：一种三自由度旋转平台
专利号：201310563004.6
专利名称：一种搂抱式箱体夹持机构
专利号：201310564394.9
专利名称：机械手臂的导气管布置及大气机械手
专利号：201310562914.2
专利名称：一种固件升级方法及系统
专利号：201310562887.9
专利名称：一种机器人故障修复系统及方法
专利号：201310562311.2
专利名称：一种机器人自主充电方法
专利号：201310574088.3
专利名称：一种Loadport内晶圆状态的距离检测系统
专利号：201310574148.1
专利名称：一种薄片型零件自动供料系统
专利号：201310567718.4
专利名称：一种用于吸附硅片的吸盘
专利号：201310574067.1
专利名称：一种多轴电机同步控制方法及多轴电机同步控制系统
专利号：201310451648.6
专利名称：手部夹持机构及牵引装置
专利号：201310451657.5
专利名称：一种搬运控制系统及其搬运方法
专利号：201310451691.2
专利名称：一种柔性剪切装置
专利号：201310451616.6
