专利
专利名称：一种双侧等距离搬运装置以及应用该装置的堆栈机
专利号：201310451670.0
专利名称：两级液电混合式运动平台
专利号：201310451664.5
专利名称：料台机构
专利号：201310451744.0
专利名称：一种晶圆仓储控制系统
专利号：201310451727.7
专利名称：一种堆垛机立柱上端支撑导向结构
专利号：201310451718.8
专利名称：手部夹持机构
专利号：201310451702.7
专利名称：一种地面搬运车控制系统及其应用
专利号：201310452106.0
专利名称：基于FPGA的伺服驱动控制器
专利号：201310451850.9
专利名称：多核CPU多操作系统的控制器
专利号：201310452174.7
专利名称：手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置
专利号：201310451911.1
专利名称：手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置
专利号：201310451948.4
专利名称：一种道岔控制板及其搬运天车道岔控制系统
专利号：201210445543.5
专利名称：天车夹爪控制系统
专利号：201210442519.6
专利名称：机械手控制系统
专利号：201210442029.6
专利名称：堆垛机手臂结构及其走线布置方法
专利号：201210445385.3
