专利
专利名称：一种区熔单晶硅生产工艺方法及区熔热场
专利号：201210301011.4
专利权人：北京京运通科技股份有限公司
时间：2013-07-27
专利名称：大直径区熔单晶炉
专利号：ZL201330103175.1
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-26
专利名称：区熔单晶炉
专利号：ZL201330103174.7
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-25
专利名称：一种区熔炉下轴旋转机构
专利号：ZL201420053570.2
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-24
专利名称：一种用于区熔炉的气体系统
专利号：ZL201420053298.8
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-23
专利名称：一种区熔硅制造设备的升降电梯
专利号：ZL201320483315.7
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-22
专利名称：区熔炉晶棒预热装置
专利号：ZL201320308440.4
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-21
专利名称：区熔炉CCD实时监控装置
专利号：ZL201320168550.5
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-20
专利名称：改进的区熔炉观察窗口
专利号：ZL201220621925.4
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-19
专利名称：一种用于区熔炉的观察窗口
专利号：ZL201220480005.5
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-18
专利名称：一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器
专利号：ZL201220480830.5
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-17
专利名称：一种区熔炉上轴旋转驱动机构
专利号：ZL201220040524.X
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-16
专利名称：一种区熔炉轴承仓
专利号：ZL201220040662.8
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-15
专利名称：一种用于区熔炉的单晶夹持装置
专利号：ZL201220040563.X
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-14
专利名称：一种用于区熔炉的载料装置及其自动载料方法
专利号：ZL201410006171.5
专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
时间：2013-07-13