专利
专利名称：一种改进的硅片铲
专利号：ZL201320803046.8
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-12
专利名称：一种减少硅片表面颗粒的检验箱
专利号：ZL201320804498.8
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-11
专利名称：一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置
专利号：ZL201320803506.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-10
专利名称：硅片腐前清洗机用清洗框
专利号：ZL201320803510.3
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-09
专利名称：一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子
专利号：ZL201320803485.9
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-08
专利名称：一种废酸回收再利用系统
专利号：ZL201320804500.1
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-07
专利名称：一种用椭偏光谱仪检测8英寸抛光片的方法
专利号：201410660671.0
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-06
专利名称：一种用透光镜检测8英寸抛光片缺陷的方法
专利号：201410660053.6
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-05
专利名称：一种单晶硅晶圆片边缘抛光工艺
专利号：201410660052.1
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-04
专利名称：一种CCD式光学定位硅片边缘二氧化硅的去除方法
专利号：201410660051.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-03
专利名称：一种新型硅片有蜡抛光方法
专利号：201410660000.4
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-02
专利名称：一种检测8英寸抛光片痕量元素的检测方法
专利号：201410659999.0
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-06-01
专利名称：IGBT用8英寸单晶硅晶圆片的多晶背封工艺
专利号：201410659996.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-31
专利名称：非接触式扫描抛光片表面粗糙度的检测设备和检测方法
专利号：201410660605.3
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-30
专利名称：硅片表面金属离子测试装置
专利号：201410660604.9
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-29