专利
专利名称：一种提高抛光垫使用寿命的单晶硅晶圆片抛光方法
专利号：201410434688.4
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-28
专利名称：一种有蜡抛光陶瓷盘的清洗方法
专利号：201310667160.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-27
专利名称：一种低成本、高产能的硅片二氧化硅边缘去除方法
专利号：201310667346.2
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-26
专利名称：一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置及其使用方法
专利号：201310659439.0
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-25
专利名称：一种IGBT用高产能单晶硅晶圆片加工方法
专利号：201310661232.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-24
专利名称：一种单晶硅酸腐蚀片的加工方法
专利号：201310659440.3
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-23
专利名称：一种废酸回收再利用系统
专利号：201310661397.4
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：一种减少单晶硅晶圆片划道的抛光工艺
专利号：201310660135.6
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-21
专利名称：一种点滴式硅片边缘二氧化硅的去除方法
专利号：201210508287.X
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-20
专利名称：一种减少单晶硅晶圆抛光片化学灼伤的有蜡抛光方法
专利号：ZL201310667347.7
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-19
专利名称：一种提高单晶硅晶圆抛光片保质期的包装工艺
专利号：ZL201210534624.2
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-18
专利名称：一种保持硅晶圆抛光片少数载流子高寿命的抛光工艺
专利号：ZL201210538031.3
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-17
专利名称：一种使用普通沙料的单晶硅晶圆片背损伤加工方法
专利号：ZL201210534687.8
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-16
专利名称：一种超高清洗能力的单晶硅晶圆片清洗方法
专利号：ZL201210538074.1
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-15
专利名称：一种可获得高抛光速率的单晶硅晶圆片抛光工艺
专利号：ZL201210534575.2
专利权人：天津中环领先材料技术有限公司
时间：2013-05-14