专利
专利名称：炉门运动自动控制机构
专利号：201320719071.8
专利名称：LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法与装置
专利号：201310503909.4
专利名称：LPCVD设备的耗散非脆弱控制方法与装置
专利号：201310485876.5
专利名称：LPCVD设备的温控系统自校正方法与装置
专利号：201310504946.7
专利名称：一种LPCVD工艺生产环境的控制方法及其控制系统
专利号：201310298738.6
专利名称：低压化学气相沉积系统（300mm）
专利号：201230473827.6
专利名称：一种用于突出显示体数据中目标区域的体绘制方法
专利号：201410378697.6
专利名称：三维实体模型的四面体网格生成方法和装置
专利号：201410322935.1
专利名称：单自由度磁力隔振装置
专利号：2016-551172
专利名称：单自由度磁力隔振装置
专利号：15118776
专利名称：一种六自由度微振动平台及其控制方法
专利号：15349670
专利名称：一种六自由度主被动复合定位与隔振平台
专利号：201610915703.6
专利名称：一种两自由度超低频隔振器
专利号：201610914596.5
专利名称：一种采用正负刚度并联的主被动复合隔振器
专利号：201610914512.8
专利名称：一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器
专利号：201610914597.X
