专利
专利名称：盒式急停按钮装置
专利号：201320850777.8
专利名称：一种热换器均流装置
专利号：201310753180.6
专利名称：一种半导体设备的微环境排气控制装置
专利号：201410009304.4
专利名称：一种可实现炉门升降和旋转一体运动的机构
专利号：201410009305.9
专利名称：一种热偶固定装置及温度测量装置
专利号：201310631252.X
专利名称：一种尾气冷却装置
专利号：201320844137.6
专利名称：一种半导体热处理设备的加热装置、维修件及维修方法
专利号：201410058313.2
专利名称：一种热处理装置
专利号：201410174552.4
专利名称：一种热偶固定装置
专利号：201320741251.6
专利名称：一种立式热处理设备恒温区测量热偶定位装置
专利号：201410010549.9
专利名称：一种提高成膜均匀性的方法
专利号：201310753169.X
专利名称：一种炉口密封装置
专利号：201320801087.3
专利名称：一种控制晶舟升降运动的原点定位方法
专利号：201410058337.8
专利名称：用于反应硅片存储和转移过程中的机械手调试装置
专利号：201420763799.5
专利名称：热处理装置
专利号：201410058339.7
