专利

专利名称：工艺腔室
专利号：201420074409.3
专利权人：清华大学
时间：2014-04-20
专利名称：双频容性耦合等离子体刻蚀鞘层二维数值模拟方法及系统
专利号：PCT/CN2016/082008
专利权人：
时间：2016-05-13
专利名称：PEDESTAL AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME, TRAY, AND PROCESS CHAMBER
专利号：PCT/CN2014/074706
专利权人：
时间：2014-04-03
专利名称：用于内部稀薄气流模拟验证及压力检测的变结构真空腔室
专利号：PCT/CN2012/000091
专利权人：
时间：2012-01-18
专利名称：一种用于等离子体检测的多模光纤焦平面调节装置
专利号：201610973016.X
专利权人：
时间：2016-10-28
专利名称：一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统
专利号：201610958577.2
专利权人：
时间：2016-10-28
专利名称：一种等离子体放电腔体迷宫密封实验系统
专利号：201610951175.X
专利权人：
时间：2016-10-27
专利名称：一种多功能等离子体腔室处理系统
专利号：201410785587.1
专利权人：
时间：2014-12-17
专利名称：一种真空腔室静电卡盘调节装置
专利号：201410785568.9
专利权人：
时间：2014-12-17
专利名称：调节温度场和/或等离子场的阻抗可控模块
专利号：201510334029.8
专利权人：
时间：2015-06-16
专利名称：基于本体的概念设计知识表示方法及知识管理系统
专利号：201510132159.3
专利权人：
时间：2015-03-24
专利名称：基于关系数据库的本体存储方法及存储系统
专利号：201510187796.0
专利权人：
时间：2015-04-20
专利名称：产品数据管理系统的产品结构信息获取方法及系统
专利号：201310694103.8
专利权人：
时间：2013-12-17
专利名称：一种光谱分析系统和光谱分析方法
专利号：201610937270.4
专利权人：
时间：2016-11-01
专利名称：静电卡盘静电力的检测方法及检测系统
专利号：201510743907.1
专利权人：
时间：2015-11-05
上一页