专利
专利名称：提高封闭模式热电堆探测器导热稳定性的结构
专利号：ZL 2013 1 0166218.X
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-05-08
专利名称：具有自稳零电路的二极管红外探测器读出电路
专利号：ZL 2013 1 0114154.9
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-04-02
专利名称：热电堆探测器与信号处理电路封装结构
专利号：ZL 2013 1 0091770.7
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-03-21
专利名称：形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法
专利号：ZL 2013 1 0090948.6
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-03-21
专利名称：高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
专利号：ZL 2013 1 0067012.1
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-03-04
专利名称：采用斩波技术的MEMS微加速度计闭环驱动电路
专利号：ZL 2013 1 0011541.X
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2013-01-14
专利名称：一种光学可测且使用封帽电极的MEMS封装结构
专利号：ZL 2012 1 0495460.7
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-11-29
专利名称：电互联阵列的测试结构及其测试方法
专利号：ZL 2012 1 0422224.2
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-10-30
专利名称：与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器
专利号：ZL 2012 1 0417397.5
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-10-29
专利名称：单片集成MEMS电容式传感器锁相放大电路
专利号：ZL 2012 1 0375929.3
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-28
专利名称：一种压力传感器温度特性的测试装置
专利号：ZL 2012 1 0372437.9
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-28
专利名称：一种压力传感器温度特性的测试装置
专利号：ZL 2012 1 0372438.3
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-28
专利名称：针对微机电集成系统的内建自测试系统
专利号：ZL 2012 1 0360676.2
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-25
专利名称：MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测系统及检测方法
专利号：ZL 2012 1 0357917.8
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-24
专利名称：一种电容式MEMS传感器的检测电路
专利号：ZL 2012 1 0329954.8
专利权人：江苏物联网研究发展中心
时间：2012-09-07