专利

专利名称：一种风速风向测量装置
专利号：ZL 201110055730.8
专利权人：东南大学
时间：2011-10-03
专利名称：一种高灵敏度二维风速风向传感器
专利号：ZL 201110031990.1
专利权人：东南大学
时间：2011-03-22
专利名称：基于减薄工艺的热式风速风向传感器及其制备方法
专利号：ZL 2011100081202
专利权人：东南大学
时间：2011-09-09
专利名称：基于各向异性导热衬底的热式风传感器及其制备方法
专利号：ZL 201110008119X
专利权人：东南大学
时间：2011-06-09
专利名称：一种微电子温度传感器及其制备工艺
专利号：ZL 201110194200.1
专利权人：东南大学
时间：2011-03-09
专利名称：一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构
专利号：ZL 201310618847
专利权人：东南大学
时间：2013-11-27
专利名称：一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构
专利号：ZL 201310611767
专利权人：东南大学
时间：2013-09-13
专利名称：厚胶紫外光移动掩模光刻的三维光强分布模拟方法
专利号：ZL 201310419458
专利权人：东南大学
时间：2013-09-13
专利名称：一种在光刻胶刻蚀过程中表面演化模拟的哈希快速推进方法
专利号：ZL 201210538668
专利权人：东南大学
时间：2012-12-13
专利名称：一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置
专利号：ZL 201210177975
专利权人：东南大学
时间：2012-05-31
专利名称：绝缘衬底上薄膜硅材料泊松比测试结构及方法
专利号：ZL201410243664.0
专利权人：东南大学
时间：2014-06-03
专利名称：微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构
专利号：ZL 201310399655.6
专利权人：东南大学
时间：2013-09-05
专利名称：双层薄膜残余应力测试结构
专利号：ZL 201310401239.5
专利权人：东南大学
时间：2013-09-05
专利名称：多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构
专利号：ZL 201210005598.4
专利权人：东南大学
时间：2012-01-10
专利名称：多晶硅材料热膨胀系数在线测试结构
专利号：ZL 201210005077.9
专利权人：东南大学
时间：2012-01-10
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