专利

专利名称：一种多协议兼容的多路信号采集方法
专利号：
专利权人：清华大学
时间：2015-07-01
专利名称：一种基于VPX总线的精密运动控制系统
专利号：
专利权人：清华大学
时间：2015-07-01
专利名称：一种输片系统晶圆自动升降装置
专利号：
专利权人：清华大学
时间：2015-07-01
专利名称：一种利用线绳拉伸的晶圆夹持装置
专利号：201210192117.5
专利权人：清华大学
时间：2012-06-01
专利名称：一种利用弹性结构的晶圆定位装置
专利号：201220307350.9 
专利权人：清华大学
时间：2012-06-01
专利名称：FABRICATION METHOD OF FAST RECOVERY DIODE
专利号：US14/901,064
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-28
专利名称：一种离子注入方法
专利号：201610564791.X
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-07-18
专利名称：自监控真空泄露的器件、制备方法、系统及自监控方法
专利号：201610564787.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-07-18
专利名称：一种离子注入装置
专利号：201610364522.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-05-27
专利名称：校正后道寄生互连线模型的方法
专利号：201511029921.1
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-31
专利名称：射频MOS器件的建模方法及测试结构
专利号：201510974683.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-22
专利名称：一种基于实测值和估计值的最优值计算的线性系统数字滤波方法
专利号：201510957748.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-18
专利名称：一种鳍式场效应晶体管结构及其制备方法
专利号：201510934977.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-15
专利名称： 一种隧穿场效应晶体管及其制造方法
专利号：201510924458
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-11
专利名称：一种晶圆背面对准的工艺集成方法
专利号：201510915731.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-12-10
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