专利
专利名称：一种MEMS湿度传感器制造方法
专利号：201510854729.X
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-11-30
专利名称： 一种快速响应的湿度传感器及制造方法
专利号：201510854739.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-11-30
专利名称：一种研磨垫及其使用周期检测方法
专利号：201510837390.2
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-11-26
专利名称： 一种柔性半导体器件的制备方法
专利号：201510837040.6
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-11-26
专利名称：一种三维CMOS集成电路的制备方法
专利号：201510837039.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-11-26
专利名称：一种原子层沉积设备以及方法
专利号：201510705637.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-10-27
专利名称：一种与CMOS工艺兼容的湿度传感器制造方法
专利号：201510697842.1
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-10-23
专利名称：一种提高SiGe源漏区质量的制造方法
专利号：201510688426.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-10-21
专利名称：一种组合式硅片片盒装置
专利号：201510044063.1
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2015-01-28
专利名称：一种石墨烯薄膜的制备方法
专利号：201410822933.9
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-12-22
专利名称：CMOS影像传感器的像元结构及其制造方法
专利号：201410635650.3
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2014-11-12
专利名称：CMOS影像传感器像元结构及其制造方法
专利号：201210575311.1
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-12-26
专利名称：一种制备特定边缘的石墨烯图形的方法
专利号：201210496825.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-11-29
专利名称：一种CMOS影像传感器光学增强结构及制备方法
专利号：201210414607.5
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-10-25
专利名称：CMOS影像传感器的深沟槽图形化方法
专利号：201210413428.X
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2012-10-25