专利
专利名称：一种用于引出电极的滑动密封板装置
专利号：201110452428.6
专利名称：一种离子RF加速结构及应用该结构的离子注入机
专利号：201610935300.8
专利名称：一种真空用高压连接装置
专利号：201610811194.2
专利名称：一种闭环控制靶台温度的方法
专利号：201610809333.8
专利名称：一种气动阀控制方法
专利号：201610809335.7
专利名称：一种引出电极的绝缘装置
专利号：201610809334.2
专利名称：一种用matlab计算均匀性的软件方法
专利号：201610809332.3
专利名称：一种自动传片位置校正方法
专利号：201610809005.8
专利名称：一种检测束流角度的方法
专利号：201610589036.7
专利名称：一种电磁波谐振装置
专利号：201610582818.8
专利名称：一种定向台上硅片位置自动校准的方法
专利号：201610582815.4
专利名称：一种基于PCI总线协议双光纤环路冗余结构通讯板卡
专利号：201610582811.6
专利名称：一种基于光电传感器光通量检测的插片机插槽定位方法
专利号：201610582814.X
专利名称：一种离子注入机的信号地址配置方法
专利号：201610584992.6
专利名称：一种离子注入机用光路对中工装
专利号：201610582816.9
