专利
专利名称：一种离子注入机内束流检测系统
专利号：201310415402.3
专利名称：一种双灯丝离子淋浴装置
专利号：201310304592.1
专利名称：一种用于离子注入机的宽束离子源装置
专利号：201210530299.2
专利名称：一种直流电源输出换向系统
专利号：201210442567.5
专利名称：一种检测法拉第状态的方法
专利号：201110456274.8
专利名称：一种多磁极束流聚焦调节装置
专利号：201110452397.4
专利名称：一种集成的控制模拟量的方法
专利号：201110452399.3
专利名称：一种电源快速关断电路
专利号：201420813491.7
专利名称：一种离子质量分析装置
专利号：201410806707.1
专利名称：一种用于离子注入机的有动密封结构硅片定向装置
专利号：201420619232.0
专利名称：一种宽束离子注入机均匀性调节装置
专利号：201410475060.9
专利名称：一种离子束垂直聚焦装置
专利号：201410324394.6
专利名称：一种离子束减速装置
专利号：201310557475.6
专利名称：一种垂直方向角度测量的装置
专利号：201310557516.1
专利名称：一种减速电极驱动装置
专利号：201310557472.2
