专利
专利名称：一种修复超低介质常数薄膜侧壁损伤的方法
专利号：201310525014.0
专利名称：电容式硅麦克风的制备方法
专利号：201310312152.0
专利名称：一种光刻版结构及其制造方法
专利号：201210579774.5
专利名称：一种湿法刻蚀后的清洗方法
专利号：201210579772.6
专利名称：气相色谱柱及其形成方法、以及气相色谱仪
专利号：201210580103.0
专利名称：一种自对准的外延接触孔结构及制备方法
专利号：201210580108.3
专利名称：静电吸盘及制备方法
专利号：201210544329.5
专利名称：一种金属层间电容的制造方法
专利号：201210545601.1
专利名称：一种消除旁瓣图形的方法
专利号：201210564606.9
专利名称：局部空气隙的形成方法
专利号：201210567368.7
专利名称：一种微型条带的表面处理方法
专利号：201210545577.1
专利名称：一种带金属帽盖的铜互连结构及其制造方法
专利号：201210436974.5
专利名称：实现很小线端间距的方法
专利号：201210510100.X
专利名称：一种铜大马士革结构的形成方法
专利号：201210430906.8
专利名称：一种金属栅电极的制造方法
专利号：201210429761.X
