专利
专利名称：一种补偿镜头畸变造成的套刻误差的方法
专利号：201210458271.2
专利名称：一种监测和补偿大尺寸芯片产品光刻拼接精度的方法
专利号：201210500534.1
专利名称：一种具有空气隙的铜大马士革互连结构的形成方法
专利号：201210413454.2
专利名称：一种双大马士革结构的制作方法
专利号：201210405324.4
专利名称：一种通孔结构的制作方法
专利号：201210405327.8
专利名称：一种非晶硅平坦化方法
专利号：201210405322.5
专利名称：一种大马士革结构的制作方法
专利号：201210404970.9
专利名称：一种双重图形化方法
专利号：201210404854.7
专利名称：一种通孔图形的形成方法
专利号：201210369951.7
专利名称：一种铜大马士革结构及其制造方法
专利号：201210366354.9
专利名称：一种铜互连结构及其形成方法
专利号：201210353210.X
专利名称：应用于铜互连的空气间隔工艺
专利号：201210183189.3
专利名称：硅通孔结构及其制造方法
专利号：201210100004.8
专利名称：制备铜双大马士革结构的方法
专利号：201210099941.6
专利名称：大高宽比结构的去胶方法
专利号：201210101203.0
