专利
专利名称：一种射频传输中实现阻抗匹配的方法和一种阻抗匹配装置
专利号：200910243877.2
专利名称：一种硅片优化调度的方法和装置
专利号：200910243876.8
专利名称：静电夹持装置、减少残余电荷的方法及等离子体处理设备
专利号：200910243700.2
专利名称：一种报警处理方法及装置
专利号：200910243438.1
专利名称：一种下电极装置及应用该下电极装置的等离子体处理设备
专利号：200910241849.7
专利名称：一种基片处理系统及其机械手臂装置
专利号：200910241497.5
专利名称：大气传输腔室及其内部气流改变方法、等离子体处理设备
专利号：200910238402.4
专利名称：流量比例控制器在线校准方法、系统及等离子体处理设备
专利号：200910235889.0
专利名称：一种静电卡盘及其残余电荷的消除方法
专利号：200910235680.4
专利名称：一种内衬及应用该内衬的等离子装置
专利号：200920246343.0
专利名称：一种等离子体处理设备、方法及腔室清洗方法
专利号：200910090764.3
专利名称：一种阻抗匹配器及等离子体处理设备
专利号：200910089112.8
专利名称：一种阻抗匹配方法及等离子体处理设备
专利号：200910089815.0
专利名称：一种在线机台异常处理的方法和系统
专利号：200910088869.5
专利名称：加热腔室及半导体加工设备
专利号：200910087862.1
