专利
专利名称：气体输入装置和半导体加工设备
专利号：200910086605.6
专利名称：基片传输装置及半导体加工设备
专利号：200910086148.0
专利名称：一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置
专利号：200910082770.4
专利名称：网络交换器保护装置及半导体加工控制系统
专利号：200920106507.X
专利名称：具有故障诊断功能的控制系统和方法
专利号：200910079035.8
专利名称：一种补偿直流自偏压的系统和方法
专利号：200910077914.7
专利名称：阻抗匹配方法、阻抗匹配系统及等离子体加工设备
专利号：201210110740.1
专利名称：基板传输机构和具有它的基板传输系统
专利号：201210045987.X
专利名称：半导体工艺监测方法和半导体工艺监测装置
专利号：201110453589.7
专利名称：一种装载装置及应用该装载装置的等离子体加工设备
专利号：201120354206.6
专利名称：机械手、大气传输单元和晶片传输方法
专利号：201110116788.9
专利名称：双频滤波装置及其处理方法和半导体设备
专利号：201110070838.4
专利名称：工厂自动化系统、自动化消息处理方法和装置
专利号：201010603718.1
专利名称：监测报警处理方法、装置及等离子体加工设备
专利号：201010610650.X
专利名称：调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统
专利号：201010592765.0
