专利

专利名称:日志记录的获取、上传方法及其装置和系统
专利号:201010580679.8
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-06
专利名称:工厂自动化系统的数据同步方法和工厂自动化系统
专利号:201010586293.8
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-05
专利名称:组件开发方法和装置、模拟设备动作的动画显示方法和装置
专利号:201010552612.3
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-04
专利名称:一种取值互锁报警的处理方法和装置
专利号:200910076959.2
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-03
专利名称:卡盘和半导体处理装置
专利号:201010547525.9
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-02
专利名称:半导体工艺中的过程控制方法及系统
专利号:201010540104.3
专利权人:北方微电子
时间:2011-10-01
专利名称:工艺数据的传送方法、装置和系统
专利号:201010537614.5
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-30
专利名称:用户权限分配方法和装置、用户权限控制方法和装置
专利号:201010529289.8
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-29
专利名称:传送装置及系统
专利号:201010523079.8
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-28
专利名称:卡盘及其制造方法、具有该卡盘的晶片处理设备
专利号:201010521098.7
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-27
专利名称:工艺数据分析方法和系统
专利号:201010520658.7
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-26
专利名称:一种启动装置、方法和系统
专利号:200910078157.5
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-25
专利名称:用于等离子体设备的下电极等离子体设备
专利号:201010274284.5
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-24
专利名称:耦合窗温度测量装置、等离子体设备及温度测量方法
专利号:201010221045.3
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-23
专利名称:一种电感耦合装置及应用该装置的等离子体处理设备
专利号:201010216936.X
专利权人:北方微电子
时间:2011-09-22
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