专利

专利名称：功率比例调节器和调节方法、电感耦合等离子体发生装置
专利号：201010195786.9
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-21
专利名称： 加热腔室以及等离子体加工设备
专利号：201210120003.X
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-20
专利名称：一种磁控溅射装置
专利号：201210105215.0
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-19
专利名称：Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统
专利号：201210101132.4
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-18
专利名称：网关协议、网关设备及电气设备控制系统
专利号：201210088257.8 
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-17
专利名称：一种磁控溅射设备
专利号：201210065131.9
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-16
专利名称：TSV转接板的制作方法及TSV转接板
专利号：201210055246.X
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-15
专利名称： 一种磁控溅射源及磁控溅射设备
专利号：201210038271.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-14
专利名称：一种等离子体加工设备
专利号：201210028082.1
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-13
专利名称：用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备
专利号：201110452828.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-12
专利名称：一种磁控管及等离子体加工设备
专利号：201110448612.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-11
专利名称：PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置
专利号：201110439122.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-10
专利名称：一种磁控溅射设备及其工艺方法
专利号：201110439653.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-09
专利名称：一种磁控管以及应用该磁控管的磁控溅射设备
专利号：201110433434.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-08
专利名称： 一种磁控管及磁控溅射设备
专利号：201110430322.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-07
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